半導體冷水機循環制冷機chiller ，，具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

成都中冷低溫科技有限公司是一家創新型高科技企業，擁有一支專業知識扎實、實戰經驗豐富的年輕團隊，主要成員來至于國內外知名學府或科研院所。公司專注于低溫領域，提供常溫到-200℃的全套溫度解決方案，主要生產工業冷水機組、低溫制冷機、深冷水汽捕集泵、高低溫循環測試機、太空模擬倉，產品應用于化工、石油、生物、制藥、真空鍍膜、電子通訊、電池包測試、集成電路等領域。

半導體冷水機循環制冷機chiller 

主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

本設備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標制冷量可以達到3600W，滿足用戶制冷需求。精QUE控溫，控溫穩定性達到±0.1℃，使用范圍廣，設定溫度：-20℃~80℃。

半導體冷水機循環制冷機chiller 

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產

運行穩定、準確控溫

半導體冷水機循環制冷機chiller

可用選項

省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。

可對應溫度穩定性（空載時）±0.05℃。

循環液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式

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