產(chǎn)品簡介
Aera FC-D980 系列數(shù)碼 MFC（質(zhì)量流量控制器）和 MFM（質(zhì)量流量計）具有的性能和通用性，從而大幅節(jié)約了成本且易于使用。多種輸出選擇
產(chǎn)品說明
Aera FC-D980 系列數(shù)碼 MFC（質(zhì)量流量控制器）和 MFM（質(zhì)量流量計）具有卓越的性能和通用性，從而大幅節(jié)約了成本且易于使用。多種輸出選擇允許進行模擬或數(shù)碼控制，可用于目前大多數(shù)控制和通信配置。為適應(yīng)您優(yōu)先選擇的價值和功能，該產(chǎn)品線擁有單氣體和多氣體、多范圍的 MFC。多氣體、多范圍可以通過顯著減少備件庫存要求降低成本。RS-485 通信（帶有轉(zhuǎn)換器的 RS-232）與全面的診斷和警報功能相結(jié)合，達到了全面的監(jiān)控和控制性能，操作參數(shù)就在您的彈指之間。
性能:
出色的精確性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性
大幅節(jié)約了成本
zui大限度的運行通用性
無與倫比的可靠性
特點:
多氣體、多范圍選擇
模擬、模擬/數(shù)碼以及數(shù)碼模式
壓電控制閥
多警報和診斷功能
金屬密封，泄漏率為1x10-10
電解拋光且超潔凈氣體濕潤表面
ALTA®系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
- ALTA® 1480A/180A數(shù)字質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，滿量程范圍從10 sccm– 30 slm。
- ALTA® MC20A數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從20 – 300 slm。
- MASS-FLO®系列金屬密封質(zhì)量流量控制器
- 1479A/179A質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm，各種模擬和數(shù)字通訊口可選。
- M330B低壓質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從5–100 sccm
- M330H高溫型(150℃）質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm – 40 slm
MASS-FLOW®系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
- 1179A/2179A質(zhì)量流量控制器/帶截至閥質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm，模擬和數(shù)字通訊口可選。
- M100B/M10MB質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從10 sccm–50 slm
- 1559A/558A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從20– 200 slm
- 1579A/579A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從50 – 300 slm
全線代理美國美國MKS的系列產(chǎn)品:
等離子體電源及反應(yīng)氣體發(fā)生器Power & Reactive Gas
真空技術(shù)Vacuum Technology
流量測量及控制Flow Measurement & Control
壓力測量及控制Pressure Measurement & Control
氣體分析Gas Analysis
控制信息與技術(shù)Control Information & Technology
超小型檢漏儀Leak Detector
校準系統(tǒng)Calibration
電離化與工業(yè)靜電控制Ionization & Industrial Static Control
集成子系統(tǒng)Integrated Subsystems
醫(yī)用電子系統(tǒng)Medical Electronics
生物醫(yī)藥應(yīng)用Biopharmaceutical
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