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產(chǎn)品展示
  • 半導(dǎo)體晶圓材料 HTR-4立式4寸快速退火爐

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介:HTR-4立式4寸快速退火爐(芯片熱處理設(shè)備)廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn),和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長(zhǎng)、消除應(yīng)力和致密化等工藝當(dāng)中,通過(guò)快速熱處理以改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能,技術(shù)指標(biāo)高、工藝復(fù)雜、專(zhuān)用性強(qiáng)。

    價(jià)格:面議
  • HTR-01 桌式4英寸快速退火爐

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介:HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)1-10片樣品同時(shí)進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到極佳的溫場(chǎng)均勻性,對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。

    價(jià)格:面議

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