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電子薄膜應力分布測試儀技術參數
發布時間：2019-06-06瀏覽次數：1455返回列表
電子薄膜應力分布測試儀 型號：BGS-6341
該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數多, 能給出全場面型分布結果, 適合于微電子生產線上產品質量的快速檢驗和微電子生產工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置, 及時淘汰早期失效產品。
| 錯位相移技術 |
| 計算機自動條紋處理 |
| 測試過程全自動 |
| 的曲面補償測試原理 |
| zui大樣品尺寸 | ≤100mm (4英寸) |
| 曲率范圍 | |R|≥5米 |
| 測試精度 | 5% |
| 單片測量時間 | 3分鐘/片 |
| 結果類型 | 面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格 |
| 圖形顯示功能 | 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 |
| 電源 | AC 220V±10%, 50Hz±5% |
| zui大功耗 | 100W |
| 外型尺寸(L×W×H) | 285mm×680mm×450mm |
| 重量 | 36kg |
