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探針測試臺技術指標
發布時間:2017-04-06瀏覽次數:1654返回列表
技 術 指 標 :
| 工作臺面 | 370mm*245mm |
| 載物臺直徑 | 4" |
| 光學參數 | 總放大率:50-100倍;手輪調焦范圍:60mm;升降調焦范圍:200mm; |
| 旋轉臺 |
粗調范圍:360°;微調范圍:±10°;小刻劃:1°; |
| 三維探針座 | 探針座X、Y、Z方向調節范圍:±3.25mm,分辨率±2μ; 三維探針座在工作臺面可任意位置固定,由磁性開關控制; 多可布三維探針座6個; 探針臂伸出長度:60mm; 探針長度:40mm; |
| 探針 | 探針材質硬質合金,針尖曲率半徑2μm; |








